感應(yīng)爐 SICG8-SL07
水平線圈式?晶爐采用水平線圈及整機(jī)全鋁設(shè)計(jì)，使磁場(chǎng)均衡對(duì)稱，與【一次傳質(zhì)】新工藝完美匹配，達(dá)到最優(yōu)化。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
整機(jī)全鋁
無籽晶托
- 減少應(yīng)力產(chǎn)生的缺陷
- 實(shí)現(xiàn)更靈活的溫度梯度調(diào)整
固定式水平線圈
- 提高磁場(chǎng)均衡對(duì)稱
- 對(duì)籽晶區(qū)的溫場(chǎng)做到更精細(xì)的調(diào)整，使溫度更均衡
【一次傳質(zhì)】熱場(chǎng)
- 多孔石墨筒，防止重結(jié)晶引起的缺陷
先進(jìn)技術(shù)
軸徑分離技術(shù)
注：單一爐型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長面型的同時(shí)能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進(jìn)材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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水平線圈式?晶爐采用水平線圈及整機(jī)全鋁設(shè)計(jì)，使磁場(chǎng)均衡對(duì)稱，與【一次傳質(zhì)】新工藝完美匹配，達(dá)到最優(yōu)化。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺(tái)感應(yīng)加熱
- 長晶速度0.2-0.3mm/h
- 長晶尺寸6 inch/8 inch
- 長晶高度30-40mm
- 線圈類型單/雙線圈